晶圆切割胶带,狮力昂UV膜

晶圆切割胶带与划片制程

发布时间:2018-12-12 15:33:56 浏览量:
分享到:
一般在切割(划片)的过程中最容易发生问题的地方有二个,空切和碎屑。

一、空切
  空切发生的原因:
  1、粘着面不清洁。
  2、胶带与被粘着面粘力不足。
 
粘着面不清洁的解决方法:
 
  一般使用者遇到空切的问题时,通常都只考虑到粘力不足,不常考虑到圆晶片背面与基板贴合面的状态,清洗贴合面有助于增加胶带的贴合面,通常使用的清洗方法大致有两种:
  1、超声波清洗。
  2、电将清洗。
 
胶带与被粘着面粘力不足
  通常粘力=(胶带与晶片的接触面积)×(胶带对晶圆或基板背面的粘度)
  所以当晶片越小,或是胶带粘度低时会产生空切的机会说越多。
 
针对空切的解决方法:
 
  1、选用粘度较大而解卷力又不太高的胶带。
  2、增加胶带与晶片背面的接触面积(贴合之后固化)。

  为了增加胶带与晶圆的接触面积,可分为预固化(预热)与贴合之后烘烤两种,预固化主要是在贴合之前利用晶圆夹具台加温,达到胶带贴合到晶圆时胶带的胶层稍微软化,达到较好的贴合效果。

  贴合之后的烘烤,主要是预固化的效果没有达到的需要的粘力,所以用此方法,预防在划片过程中发生空切现象。
 
胶带的化学特性
 
  晶圆由于在背面研磨后有TTV值的存在,表示并非百分之百的平面,用烤箱烘烤使胶层软化,以达到填充晶圆背面的微小凹面,使胶带与晶圆背面的接触面增加,以达到增加粘力的效果。
 
粘着力(gf/20cm)


  由图可知,当胶层温度由23℃上升到60℃时(由A到B),胶层的粘度变小,但胶的流动性变大,使胶层比较容易渗入不平整的晶圆背面,以增加接触面积,当晶圆要切割之前,胶层又回到原来的温度(B到A’),因为胶对温度的变化是一种不可逆的过程,所以A不等于A’。
 
  烘烤前胶带与晶圆的粘力=(A的粘度)×(烘烤前胶带与晶圆的接触面积)
  烘烤后胶带与晶圆的粘力=(A’的粘度)×(烘烤前胶带与晶圆的接触面积)
 
  由于并非长时间烘烤,所以A的粘度与A’的粘度并不会大幅改变,主要改变粘力的因素在于胶带与晶圆的接触面积的增加。

胶带与晶圆的接触面积(%)


  用烘烤的方法增加粘力,基本上有一些限制,当胶带贴合到矽晶圆的背面后以60 ℃热源烘烤三分钟其胶带与晶圆的接触面积已经达到80%以上,此时若再继续烘烤十分钟最多增加10%,所以我们可以得出结论,虽然烤的越久,胶带与晶圆的接触面积增加越多所以越粘,但后面的烘烤时间也会越没效率。
 
烘烤的缺点:
 
  烘烤的目的就是要增加粘性,对解决空切而言当然越粘越好,但对于晶片粘合而言, 胶带越粘,顶针的力量就越大,对晶圆背面留下的伤痕的机会也越大,所以建议您使用晶圆切割胶带时,如果晶片的尺寸小于2mm×2mm,或是您有如上述顶针刮痕的问题,我们建议使用UV膜胶带。

二、碎屑
 
  碎屑大约可分为:(1)上面碎屑;(2)背面碎屑;(3)边角碎屑;(4)破裂碎屑。

  发生碎屑的原因大致可分为三大因素:
  (A)刀具因素;(B)晶圆材料的因素;(C)胶带因素。这里主要针对胶带因素加以讨论:
 
  (A)刀具因素
  以下条件越容易发生碎屑:
  1、切割速度越快;
  2、刀具主轴转速越快;
  3、晶片越小;
  4、DI 水喷的越少;
 
  (B)晶圆材料的因素
  1、有钝化的晶圆会比镜面晶圆较容易发生碎屑;
  2、较薄的晶圆较容易发生碎屑;
 
  (C)胶带因素
  1、碎屑的位置:
  一般碎屑发生时应该都会在晶片的同一边,对晶片而言,第4个切割边常是最容易发生碎屑的地方。


  主要原因为:(1)其切割地方的前方已经存在切割线。
  (2) 对晶片而言,切割边就是最后一个支撑边,如果没有很优良的胶带做为切割平台, 晶圆很容易发生碎屑。
  2、胶带的制造误差
  制造误差越小,胶带的表面越平整,碎屑的问题就越小。
  解决方法:如果使用一般的胶带,那么建议使用电子级的胶带。
  3、刀具切入胶带的深度


  基本上,刀具穿晶圆后切入胶带的深度越大,越不容易碎屑,但是也不能切的太深。
  解决方法:
  1、使用胶带厚度较厚,同样是PVC基材的胶带。
  2、使用相同厚度的胶带,但其基材必须为不可扩展的(Non-Expandable Base Film)胶带。
  4、切割平台
  切割(划片)时会碎屑的现象,除了以上原因外,最重要的原因在于划片过程中如何保持晶片不受移动是非常重要的,胶层太软,容易使晶片在划片过程中晃动而产生碎屑。
  解决方法:
  提高胶层硬度,因为胶层紧贴着晶圆。在划片过程中,胶层的作用就等于的切割平台,切割平台够硬,碎屑问题自然改善。  
本文对我有帮助?我要【分享】一下:

【上一篇】第一页
【下一篇】最后一页

相关文章

版权所有:东营市艾德胶粘制品有限公司   
号:鲁ICP备09049268号-6   
鲁公网安备 37052102000198号   
建设:东营远见网络   
网站地图